近日，由哈爾濱工業大學機器人研究所研究完成的“面向微電子機械系統（簡稱為MEMS）組裝、封裝與鍵合測試的關鍵微操作設備”項目通過了國家技術鑒定。

    微電子機械系統在航空航天、石油化工、水電、冶金製造、鍋爐、控制等領域都有廣泛的應用，還可以用在計算器、手機等各種電子器件中。MEMS産品已經漸漸成為機械的高級維護系統、微型工廠、人體管腔診斷和檢查系統的主流産品。

    據悉，該項研究成果在系統集成、顯微視覺、微作業工具、微操作作業策略等關鍵技術方面達到國際先進水平；填補了國內外MEMS領域相關設備空白，體現了自主創新。（記者 郭俊峰）