2009年3月26日下午，科技部部長萬鋼在北京主持召開“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”重大專項第五次領導小組會議，研究部署應對國際金融危機，發揮科技支撐作用，促進經濟平穩較快發展，加快推進專項工作進展，明確專項下一步工作方向。科技部副部長曹健林、北京市委常委趙鳳桐、上海市副市長沈曉明出席會議，國家發展改革委、財政部、工業與信息化部、中國科學院、教育部等專項領導小組成員單位的領導參加了會議，專項諮詢委員會主任馬俊如研究員和專項專家總體組召集人葉甜春研究員列席會議。

    為推動專項項目組織實施和落實地方部門配套資金，專項領導小組還組織召開了由相關部門和地方科技主管部門領導及項目承擔單位負責同志參加的實施推進會。曹健林副部長主持會議，萬鋼部長做重要指示，就專項的工作目標、工作任務提出明確要求。